全自動影像儀測量平面度的量測和傳統的還是有蠻大的改進，全自動影像測量儀利用光的反射原理，通過圖像傳感器拍攝工件影像進行處理測量。而傳統的 CMM 利用接觸式測頭獲取空間點坐標，通過計算得到被測物體的幾何參數。
全自動影像測量儀一次就可以獲取工件部分圖像，通過測量軟件可快速完成圖像上各點的測量，而接觸式坐標測量機每次觸碰工件只能獲取一個測量點，因此在很多場合全自動影像測量儀的測量效率要高于接觸式坐標測量機。
平面度測量的常用的方法及測量原理
水平儀測量法：水平儀是一種測量小角度的常用量具。在行業和儀表制造中,用于測量相對于水平位置的傾斜角、機床類設備導軌的平面度和直線度、設備安裝的水平位置和垂直位置等。按水平儀的外形不同可分為：框式水平儀和尺式水平儀兩種；按水準器的固定方式又可分為：可調式水平儀和不可調式水平儀。
常用水平儀：廣泛用于工件表面的直線度和平面度測量。測量精度高、穩定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時需要反復挪動儀器位置，記錄各測點的數據，費時、費力，調整時間長，數據處理程序繁瑣。
打表測量法：打表測量法是將被測零件和測微計放在標準上，以標準平板作為測量基準面，用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。打表測量法按評定基準面分為三點法和對角線法：三點法是用被測實際表面上相距遠的三點所決定的理想平面作為評定基準面，實測時先將被測實際表面上相距遠的三點調整到與標準平板等高；對角線法實測時先將實際表面上的四個角點按對角線調整到兩兩等高。然后用測微計進行測量，測微計在整個實際表面上測得的大變動量即為該實際表面的平面度誤差。
打表法測量同軸典型應用為平板測微儀及三坐標儀，其中優以三坐標儀為應用廣泛。測量時指示器在待測樣品上移動，按選定的布點測取各測量點相對于測量基準的數據，再經過數據處理評定出平面度誤差。但其效率較低，通常一個樣品需要幾分鐘，離15ppm的期望相差甚遠。
